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山東凈化車間為何要控制溫濕度?

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山東凈化車間為何要控制溫濕度?

發布日期:2021-10-11 作者: 點擊:

為什麼要控制山東凈化車間的溫濕度?首要任務是什么,具體措施是什么?

山東凈化車間的溫濕度主要是根據您的加工工藝要求確定的,在滿足加工工藝的條件下,優先考慮人體舒服性。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫度和濕度的要求也越來越高,須達到一定的溫度等級。作為一個應用于大規模集成電路生產的光刻曝光工藝,用掩膜材料對硅片熱膨脹系數要求不高。硅晶片直徑為100毫米,上升1度,會導致0.24毫米線性膨脹。因此,須有0.1度的恒溫,濕度值通常較低,因為出汗后會污染產品,尤其是半導體車間,因為害怕鈉含量不應超過25度。高濕度帶來了更多的問題。當相對濕度大于55%時,冷卻水管壁上會結露,如果是在設備或電路中,會引起各種事故。相對濕度50%時容易生銹。


但是對大多數潔凈空間來說,為了防止外來污染的入侵,須將內壓(靜壓)保持在高于外壓(靜壓)。保持壓差通常應符合下列原則:

1.潔凈度級別高的空間的壓力比鄰近的潔凈等級低的空間的壓力高。

2.潔凈室之間的門要開到潔凈等級高的房間里。

3.潔凈空間壓力大于非潔凈空間壓力。


壓差的維持依賴于新風量,而新風量要能補償在此壓力差下漏出的風量。因此,壓差的物理意義是指潔凈室中的漏泄(或滲透)風量通過各種縫隙時的阻力。


對亂流青島潔凈室由于主要依靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度,所以主要采用換氣次數這個概念,而不是直接用速度的概念,不過對室內氣流速度也有如下要求:

1.送風口出口風速不宜過大,與單純空調室相比,要求速度衰減較快,擴散角較大。

2.吹過水平面的氣流流速(如側送時回流速度)不宜過大,以免將表面微粒吹回氣流中,而造成再污染,一般不宜大干0.2m/s。

我們國家的《空氣潔凈技術措施》和《潔凈廠房設計規范》都有這方面的規定。

豎直并流(層流)潔凈室≥0.25m/s。

平流式(層流)潔凈室≥0.35m/s。


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